熱烈祝賀山東艾諾儀器有限公司無塵間凈化項目順利開工

發布時間：2017-06-26

潔凈工作區 clean working area
指潔凈室內離地面高度0.8～1.5m（除工藝特殊要求外）的區域。

空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。

氣閘室 air lock
設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。

傳遞窗 pass box
在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。

潔凈工作臺 clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。

潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產生的粒子限制在最小程度所使用的發塵量少的潔凈服裝。

空態 as-built
設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。

靜態 at-rest
設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無生產人員。

 動態 operational
設施以規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。

檢漏試驗 leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗。

高效空氣過濾器 HEPA（high efficiency particulate airfilter）
在額定風量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

超高效空氣過濾器 ULPA（ultra low penetration airfilter）
在額定風量下，對粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。

純水 purity water
對電解質雜質含量（常以電阻率表征）和非電解質雜質（如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等）含量均有要求的水。

防靜電環境 ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環境，在這一環境中不易產生靜電，靜電產生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。